====== Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen ====== -> [[Topographie]] Dreidimensionale Strukturen von mikroelektronischen Halbleitererzeugnissen ([[Topographie|Topographien]]) werden nach Maßgabe des [[Halbleiterschutzgesetz|Halbleiterschutzgesetzes]] geschützt, wenn und soweit sie [[Eigenart]] aufweisen. ===== siehe auch ===== HalblSchG -> [[Halbleiterschutzgesetz]]